在半导体制造过程中,全自动晶圆缺陷检测技术对光学成像效果要求很高。检测分明场和暗场,明暗场大多使用高亮光纤光源成像,观察硅片的表面缺陷(如崩边缺角,表面脏污)。乐视科技新升级2代新款高亮光纤光源,新款2SLG250比2SLG150-W亮度提升60%。发光效能高,发热量低,是半导体检测的最佳搭配。
产品特点
◆采用多组耦合透镜设计实现高亮度,高效能
◆外观简洁流畅,体积更小巧
◆标配R/G/B/W/CW(高显色)型5种颜色
◆20mm照度可达到1500万LX
◆适合半导体显微模组应用
照度特性图
型号:LTS-2SLG250-W/2SLG150-W
注:调光100%、光纤8mm光束,总长1100mm的直型光纤导管,从光纤出光口到各照射距离的位置的实测值(并非保证值)。
亮度对比图
2SLG250-W比2SLG150-W亮度提升60%以上
可配套4款不同集光镜
照度分布图(LTS-HL)
照度分布图(LTS-ML)
成像灰度对比图
相机:ACA2440-20gm
镜头:LTS-TC05110
相机曝光:130us
显微模组晶圆应用示意图
光源参数