在半导体制造过程中,全自动晶圆缺陷检测技术对光学成像效果要求很高。检测分明场和暗场,明暗场大多使用高亮光纤光源成像,观察硅片的表面缺陷(如崩边缺角,表面脏污)。乐视科技新升级2代新款高亮光纤光源,同功率下,新款2SLG150比旧款SLG150-W亮度约提升1倍。发光效能高,发热量低,是半导体检测的最佳搭配。
产品特点
◆采用多组耦合透镜设计实现高亮度,高效能
◆外观简洁流畅,体积更小巧
◆标配R/G/B/W/CW(高显指)型5种颜色
◆20mm照度可达到900万LX
◆适合半导体显微模组应用
照度特性
型号:LTS-2SLG150-W
注:调光100%、光纤8mm光束,总长1100mm的直型光纤导管,从光纤出光口到各照射距离的位置的实测值(仅为实验数据,非保证值)。
亮度对比图
2SLG150光纤光源亮度升级提升一倍。
可配套4款不同集光镜
照度分布图(LTS-HL)
照度分布图(LTS-ML)
可配套4款不同集光镜
成像灰度对比图:
相机:ACA1600-20gm
镜头:LTS-TC05110-5MP(1倍)
相机曝光:60us


LTS-2SLG150-W 灰度:230
LTS-SLG150-W 灰度:105
显微模组晶圆应用示意图


明场检测
暗场检测
光源参数
感谢您的观看,我们下期再会。